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涂布試驗(yàn)機(jī)

所在位置:首頁  > 產(chǎn)品展示涂布試驗(yàn)機(jī)

微電子及半導(dǎo)體封裝自動(dòng)涂膜機(jī)

更新時(shí)間:2023-05-24 點(diǎn)擊數(shù):783

簡(jiǎn)單介紹:

狹縫式涂布試驗(yàn)機(jī)由山東安尼麥特儀器有限公司精心研制高精度精密型涂布試驗(yàn)機(jī),本機(jī)主要應(yīng)用于蓋板玻璃的各種涂膠作業(yè)而開發(fā)設(shè)計(jì)的專用裝置,同時(shí)也可以用于其他類似材料的涂布。本涂布試驗(yàn)機(jī),底板采用微孔陶瓷吸附平臺(tái),同時(shí)采用非接觸式狹縫式涂布頭,通過進(jìn)料壓力,狹縫寬度調(diào)節(jié),以及狹縫頭與底板間隙三個(gè)因數(shù)控制濕膜厚度,同時(shí)軟件系統(tǒng)增加了高度調(diào)節(jié)與反饋系統(tǒng),大大提高了涂布精度與均勻性。

應(yīng)用場(chǎng)景:針對(duì)微米級(jí)特別是納米及亞微米級(jí)功能性涂層的涂布試驗(yàn)、墨水調(diào)試、工藝研究、小規(guī)模制樣研發(fā)等。

涉及行業(yè):包括水凝膠、液態(tài)金屬、智能包裝材料、光電材料、光刻膠、功能涂層、微電子及半導(dǎo)體封裝等大面積涂布制備,以及氫燃料電池膜電極、電解水制氫膜電極、鋰電池、各種活性催化劑、異質(zhì)結(jié)太陽能電池、薄膜太陽能電池、鈣鈦礦太陽能電池、有機(jī)太陽能電池、OLED柔性穿戴器件、有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,導(dǎo)電聚合物,納米線和納米管,二維材料,有機(jī)發(fā)光二極管和鈣鈦礦發(fā)光二極管、鈣鈦礦光伏電池、鋰離子電池的電解質(zhì)和電極、染色敏感性太陽能電池、電子皮膚等器件的制備。

主要技術(shù)參數(shù) 

1.工藝流程: 手動(dòng)放料--刮涂--手動(dòng)取料,依次循環(huán)

2.設(shè)備結(jié)構(gòu):封閉式

3.陶瓷吸附規(guī)格: 工作區(qū)域  ① 450mm(W)×550mm(L)。 ② 155.21mm(W)×136.2mm(L)。 可以獨(dú)立工作(其他工作區(qū)域可選)

4.適用玻璃厚度范圍:0.03-1.5mm

5.涂膠工作臺(tái)高度:900±20mm可調(diào)整  

6.適用涂布液:各種液態(tài)光學(xué)膠或感光膠

7.膠體粘度:5cps~6000cps (23±2℃時(shí))。 (不同粘度范圍需以不同厚度Shim

片對(duì)應(yīng))。 

8.涂布干膜厚度范圍:2~800um。  (根據(jù)涂布液固含量不同厚度范圍有波動(dòng))

9.有效涂布范圍內(nèi)涂布均勻性:3%-5%(除去涂布范圍周邊5-10mm之內(nèi)部)。

10. 涂布寬度:依玻璃基板尺寸及底部貼PET膜的預(yù)留無效邊而定,用不同開口的Shim片對(duì)應(yīng)。

11. 涂布有效范圍:玻璃基板整面有效,無效區(qū)為基板底部PET 膜四周多出的部分。

12. 機(jī)內(nèi)凈化:機(jī)臺(tái)頂部FFU上吹風(fēng),機(jī)臺(tái)底部預(yù)留抽風(fēng)口。

13. FFU安裝位置:設(shè)備頂部

14.基板厚度確認(rèn):測(cè)厚儀測(cè)量值(基板為含PET底膜厚度的整體厚度)。

15.涂布方式:龍門式狹縫刮膠涂布方式。 

16. 刮膠驅(qū)動(dòng):直線電機(jī)/伺服電機(jī)可選    高度調(diào)整電機(jī)為步進(jìn)電機(jī) 

17.升降行程:150mm

18. 涂膠厚度檢測(cè):Keyence感應(yīng)器非接觸檢測(cè)。(選配)

19. 涂布GAP控制精度:進(jìn)料段Keyence測(cè)厚儀控制涂膠Gap,檢測(cè)精度±5微米

20.平臺(tái)平面度:10-15um。

21.平臺(tái)材質(zhì):多孔陶瓷真空平臺(tái)。

22.平臺(tái)有效尺寸:450mm×550mm。

23.真空區(qū)域:2個(gè)  可獨(dú)立工作

24.吸附平臺(tái)框架材質(zhì):不銹鋼 

25.刮刀數(shù)量:2組(1組大尺寸500X120X100mm、1組小尺寸205x120x100mm)。

26.狹縫刮刀尺寸:大尺寸500X120X100mm、小尺寸205x120x100mm)。

27.刮刀材質(zhì):630不銹鋼

28.墊片數(shù)量:每個(gè)狹縫涂布頭標(biāo)配墊片2張(墊片厚度客戶自己選擇)

29.注膠管路:兩套管路系統(tǒng),對(duì)應(yīng)一組泵(一套管路打樣測(cè)試使用,另外一套管路量產(chǎn)使用)。

30.進(jìn)膠方式:伺服計(jì)量泵 齒輪泵適5-9000cps粘度膠體)。/注射泵式上料可選

31.計(jì)量泵流量范圍:1.8-21.6ml/min

32.計(jì)量泵電機(jī)參數(shù): 臺(tái)達(dá)伺服電機(jī) /0.4KW/220V/3000rpm

33.計(jì)量泵結(jié)構(gòu):  電機(jī)/減速機(jī)/齒輪泵/控制系統(tǒng)

34.計(jì)量泵控制方式:7寸觸摸屏 

35.刮膠預(yù)涂機(jī)構(gòu):涂布前手動(dòng)無塵清潔刀口。

36.刮刀預(yù)干浸槽: 可移動(dòng)接料盒。

37.真空消泡功能 :有

38.真空消泡罐參數(shù):2L  不銹鋼桶體,透明觀察蓋。

39.進(jìn)膠量控制:HMI上設(shè)定伺服泵參數(shù)控制進(jìn)膠量。

40.下機(jī)架材料:鋁合金框架或SS41#表面靜電烤粉。

41.下封板材料:不銹鋼亮面板。

42.上機(jī)架材料:SUS304型材或鋁合金型材機(jī)架。

43.上機(jī)架封板:透明PC門葉封板。 

44. 面板控制:PLC+HMI(觸摸屏人機(jī)介面)控制

45.平臺(tái)吸附真空泵:采用靜音水循環(huán)真空泵

46.涂布速度:1-200mm/min

47.電源電壓:220V 50Hz 800W

 

設(shè)備主要工作系統(tǒng)及參數(shù):

1、機(jī)械結(jié)構(gòu)

機(jī)架

鋼件防銹處理/不銹鋼/鋁合金材料

零件

軸承SKF/NSK

絲桿,導(dǎo)軌

絲桿±0.05 mm

2、電控系統(tǒng)

控制系統(tǒng)

PLC

觸摸屏

七寸

電網(wǎng)穩(wěn)定

電源濾波器

電源保護(hù)

漏電斷路器

交流接觸器

施耐德

步進(jìn)電機(jī)

臺(tái)達(dá)

接近開關(guān)

歐姆龍

直流電源供應(yīng)

明緯

Sensor

歐姆龍

3、氣動(dòng)系統(tǒng)

氣缸

SMC 或同規(guī)格

壓力控制

亞德客

壓力調(diào)節(jié)

亞德客

壓力指示

亞德客

電磁閥

亞德客

油霧分離器

亞德客

4、真空系統(tǒng)

真空泵

水循環(huán)式

5、計(jì)量泵系統(tǒng)

齒輪泵

/

 

設(shè)備主要參數(shù):

1、生產(chǎn)參數(shù)

最大玻璃尺寸

450mm*550mm

適合玻璃厚度

30um-1.1mm厚度

涂布整面均勻性

3%-5%

2、機(jī)床規(guī)格參數(shù)

外形尺寸

(L*W*H) (L)1500mm×(W)900mm×(H)2000mm可自己設(shè)定

工作臺(tái)面高度

700-800mm

重量

400Kg

設(shè)計(jì)總功率

900W

3、機(jī)臺(tái)周邊配套

電源要求

機(jī)器電源 AC220V±10%、50Hz、5KW

環(huán)境要求

溫 度 22 ± 2 ℃ 恒 溫 無 塵 車 間 ; 相 對(duì) 濕 度 : 40~85%RH

無塵車間潔凈度等級(jí)

百級(jí)或以上

壓縮空氣

壓力:0.5~0.8Mpa, 干燥氣源

4、其它

文件資料

設(shè)備規(guī)格書/程序

各1份


整機(jī)質(zhì)保

12個(gè)月


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